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废气治理厂家分享硅烷废气处理方式及工艺流程

2022-11-14 16:38:20

  硅烷即硅与氢的化合物,是一系列化合物总称,包含甲硅烷、乙硅烷和一些硅氢化合物,硅烷废气的处理采用点燃+洗涤法净化硅烷汽体,系统中包括:硅烷废气燃烧设备+滤筒除尘器+洗涤塔。主要用于单晶硅、多晶硅领域生产中产生的硅烷废气的处理。以下是废气治理厂家分享。

废气治理厂家

  徐州鑫源环保机械有限体育比分下载分享工作原理是硅烷与输入空气压缩或新风补气口补入空气触碰而起火或发生氧化反应,反映后形成大量二氧化硅粉尘;氨气采用净化塔喷洒吸收产生氨水。内部燃烧仓采用特殊泄压装置,即便在内部压力忽然扩大的情形下仍能正常运转,同时配置了N2通道,更为变大设备安全性。

  在粉尘搜集层面采用负压沉积的办法,沉积下来的粉尘根据清渣口排出,这使粉尘搜集解决变得更容易、更高效,后面工艺还配套了滤筒除尘技术,进一步清除氧化硅粉尘,提高粉尘的治理效率。

  主要应用于太阳能、光伏行业、半导体业及CVD化学气体沉积工艺中产生的硅烷废气处理

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