型号
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VMG662
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VMG962
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VMG1292
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VMG15122
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行程(mm)
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620×620×200
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920×620×200
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1220×920×200
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1520×1220×200
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外部尺寸(mm)
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1320×1040×1620
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1620×1040×1620
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2000×1400×1620
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2440×1760×1680
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重量(kg)
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1100
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1400
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2350
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3000
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承重(kg)
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80
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80
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60
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60
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测量精度
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XY轴*
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E2=(3.0+L/200)µm
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E2=(4.5+L/200)µm
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Z轴**
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E1=(5.0+L/200)µm
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速度
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XY轴
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300mm/S
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Z轴
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100mm/S
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光栅尺
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Renishaw光栅尺
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CCD
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1/2"CCD 黑白/彩色
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光源
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轮廓光
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LED冷光源,256级亮度可调
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表面光
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6环8区LED冷光源,各段独立操控,256级亮度可调
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同轴光
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LED冷光源,256级亮度可调
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光学系统***
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6.5:1可变倍,放大倍率29~163或58~326
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软件
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Vispec测量软件
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运动控制
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自主专利的CNC直流伺服系统
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保修期
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1年
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工作环境
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温度20℃±2℃,温度变化<2℃/hr,湿度30~80%
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振动<0.002g,低于15Hz
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电源
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220V/50Hz/10A
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L表示测量长度,以毫米为单位。
Z轴的机械精度,聚焦的精度与工件表面有很大关系。
放大倍率为近似值,具体值与显示器的尺寸以及显示器的分辨率相关。
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